“SiC激光退火設備”順利通過省首臺（套）產品工程化攻關項目驗收

10月22日，受省經信廳委托，浙江省經濟和信息局組織召開了瑤光半導體（浙江）有限公司的浙江省首臺套產品工程化攻關項目“SiC激光退火設備”專家驗收會。

經過現場匯報、答疑、評審，專家組一致同意通過驗收，為浙江省首臺（套）裝備申報工作奠定了堅實基礎。這也是繼“南太湖精英計劃”之領軍型創業團隊榮譽后，企業獲得的一項省級創新成果。

SiC激光退火設備-ES500系列

瑤光半導體自主研發的激光退火設備，具有掃描速度快、控制精度高、能耗低等優勢，能夠有效改善SiC材料的微觀結構，提高器件的性能和可靠性，同時滿足了市場對高品質、高效率生產的需求。該設備的成功研制，不僅滿足了市場需求，也推動了半導體制造技術的進步。

產品創新點

雙退火模式：局部、全局退火，開發了路徑優化算法，解決了單一退火模式無法滿足不同工藝下的定制退火問題；

激光自動對焦技術+ 高速光閘裝置：解決了因晶圓厚度不同導致激光不能聚焦的問題，提高了晶圓退火位置精度；

保護氣體填充及勻化技術：可顯著提高晶圓退火區域氣體保護均勻性，實現退火時形成極致的氣體保護屏障隔離氧氣，提升了退火效果，保持了退火一致性。

浙江省?首臺“套”

浙江省“首臺（套）”是指本省企業首次自主研發生產并經用戶單位使用且符合省裝備制造業重點領域及年度扶持重點的單臺產品或成套設備，是該技術領域的標志性成果。

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